媒体行|核心技术赶超国际，青岛华芯晶电的创新之路

半导体衬底晶片每月产能近百万片；年产能超千万片；主营产品市场占有率世界领先。这是位于青岛市高新区的青岛华芯晶电科技有限公司（以下简称“华芯晶电”）拥有的品牌实力。

关键技术攻关一直是科技发展的重大课题，不仅影响着发展的快慢，也是突破技术壁垒的重要一招。对于半导体芯片产业来说，更是如此。华芯晶电却攻克了研发难的“魔咒”，挣脱了“卡脖子”的难受，让中国智造站上了世界舞台。

华芯晶电是国内最早进行化合物半导体研究生产的企业之一。公司核心产品包括蓝宝石衬底、磷化铟衬底、氧化镓衬底等，已在第二代及第四代半导体材料领域形成布局，打破了国外对高端半导体衬底晶片的垄断，产品广泛应用于集成电路、新能源、光通信、毫米波雷达、人工智能以及新型显示等领域。

或许，对于很多人来说，半导体衬底晶片有些陌生。半导体衬底晶片是指在半导体制造过程中作为基础层的物质，通常由半导体单晶材料制造而成的晶圆片，作为承载芯片和电子器件的基础。

借用华芯晶电副总经理肖燕青的话“如果把制造芯片比作盖房子，那么，半导体衬底晶片就是地基，有了地基才能造出完美的房子。”

但这个“地基”并不简单，半导体衬底材料是具有特定晶面和适当电学、光学和机械特性的用于生长外延层的洁净单晶薄片，起着物理支撑、导热及导电等重要作用。

“以磷化铟为例，过去，国内主流制备方法面临生长工艺难度大、位错密度高、易产生孪晶等问题，产品主要依赖进口。但我们创新并优化了晶体生长工艺，成功制备出品质更高、稳定性更强的磷化铟单晶，稳定的生产技术填补了国内技术空白。”肖燕青表示。

据了解，华芯晶电对蓝宝石衬底的技术掌握和产业化程度已相当成熟，目前已突破大公斤级蓝宝石晶体生长技术，成为国内芯片制造上游蓝宝石衬底材料主力供应商，产品进入多个行业下游供应链中。

2021年，华芯晶电启动了第四代半导体化合物氧化镓单晶衬底的研发，在氧化镓晶体生长、晶体低密度缺陷控制、高效元素掺杂等方面进行了攻关。目前，通过关键技术的攻关提升晶体及衬底质量，达到了国际水平，已完成产品小试并逐步实现产品产业化及应用推广。

公司先后被认定为国家级专精特新“小巨人”企业、国家级绿色工厂、山东省新材料产业领军企业、山东省制造业单项冠军企业、山东省瞪羚企业，承建山东省企业技术中心等省市级科技创新平台10个，取得国际领先技术成果10余项、申请专利300余项，通过了两化融合管理体系、国家知识产权管理体系等12项管理体系认证。